603107, г. Нижний Новгород,
ул. Заовражная, д.6
ул. Заовражная, д.6
ООО "АтомСтрой"
АВТОМАТИЧЕСКАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ И ПРОЯВЛЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА
Установка предназначена для проявления фоторезиста на заготовках при формировании рисунка. Установка обеспечивает последовательное двухстадийное струйное проявление с последующей промывкой. Прецизионность обработки обеспечивается вертикальным расположением заготовок при их вращении и покачивании.
Установка изготовлена в исполнении УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15150-2002 и предназначена для работы при:
- температурах от +100 до +35оС;
- относительной влажности воздуха 80% при 25оС;
- атмосферном давлении 84,0–106,7кПа(630–800 мм рт.ст.).
Питание установки осуществляется от четырехпроводной сети переменного тока напряжением 380В±10%, частоты 50±1%Гц, наличие контура заземления на производственном участке обязательно.
. Время непрерывной работы установки не менее 8 часов.
Установка изготовлена в исполнении УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15150-2002 и предназначена для работы при:
- температурах от +100 до +35оС;
- относительной влажности воздуха 80% при 25оС;
- атмосферном давлении 84,0–106,7кПа(630–800 мм рт.ст.).
Питание установки осуществляется от четырехпроводной сети переменного тока напряжением 380В±10%, частоты 50±1%Гц, наличие контура заземления на производственном участке обязательно.
. Время непрерывной работы установки не менее 8 часов.
Установка смонтирована на сварном каркасе с регулируемыми опорами. На каркасе размещен пластиковый корпус, в котором производятся последовательная операции проявления фоторезиста и промывка.
В ванне кассета с платами совершает вращательное и, одновременно, возвратно поступательное движение на эксцентрике вращения. Мотор-редуктор вращения эксцентрика вынесены за пределы ванны. Регулирование скорости вращения обеспечивается частотным преобразователям.
Перемещение кассеты из ванны проявления в ванну двухкаскадной промывки осуществляется в ручном режиме.
Обработка заготовок в ванне - струйная, с регулируемой двухсторонней подачей реагентов через регистры с форсунками. Сзади установки на каркасе располагается циркуляционная ёмкость проявителя. Регистры обеспечивают равномерное омывание всей площади обрабатываемой кассеты. Рабочая ванна сверху закрывается съемной крышкой для технического обслуживания.
Подача воды в ванну промывки обеспечивается включением электромагнитного клапана.
Ванна с проявителем оснащена блоком нагрева с датчиком температуры для автоматического терморегулирования и датчиком уровня с блокировкой работы насоса и нагрева. Система терморегулирования оснащена теплообменником охлаждения раствора.
Программирование технологических параметров, работу установки в ручном и автоматическом режимах и текущий контроль обеспечивает блок управления.
В ванне кассета с платами совершает вращательное и, одновременно, возвратно поступательное движение на эксцентрике вращения. Мотор-редуктор вращения эксцентрика вынесены за пределы ванны. Регулирование скорости вращения обеспечивается частотным преобразователям.
Перемещение кассеты из ванны проявления в ванну двухкаскадной промывки осуществляется в ручном режиме.
Обработка заготовок в ванне - струйная, с регулируемой двухсторонней подачей реагентов через регистры с форсунками. Сзади установки на каркасе располагается циркуляционная ёмкость проявителя. Регистры обеспечивают равномерное омывание всей площади обрабатываемой кассеты. Рабочая ванна сверху закрывается съемной крышкой для технического обслуживания.
Подача воды в ванну промывки обеспечивается включением электромагнитного клапана.
Ванна с проявителем оснащена блоком нагрева с датчиком температуры для автоматического терморегулирования и датчиком уровня с блокировкой работы насоса и нагрева. Система терморегулирования оснащена теплообменником охлаждения раствора.
Программирование технологических параметров, работу установки в ручном и автоматическом режимах и текущий контроль обеспечивает блок управления.
Технические характеристики
Фотогаллерея
